הנדסת טיהור אלקטרונית מדויקת ידועה גם בשם חדר נקי או חדר נקי, היא כיום מוליכים למחצה, ייצור מדויק, ייצור גבישים נוזליים, ייצור אופטי, ייצור מעגלים וביוכימיה, רפואה, ייצור מזון ותעשיות אחרות חיוניים מתקנים חשובים. בשנים האחרונות, בשל לחדשנות ולפיתוח הטכנולוגיה, הדרישה לדיוק גבוה ולמזעור מוצרים דחוף יותר.לדוגמה, המחקר והייצור של VLSI הפכו לפרויקט חשוב מאוד בפיתוח המדע והטכנולוגיה בעולם, ותפיסת העיצוב וטכנולוגיית הבנייה של החברה שלנו נמצאים בעמדה המובילה בתעשייה.
עבודות טיהור אלקטרוני מדויקות כוללות בדרך כלל
1. טיהור אזור הייצור
2. חדר עזר לטיהור (כולל חדר טיהור עובדים, חדר טיהור חומרים וסלון כלשהו וכו')
3. תחום ניהול (כולל משרד, תפקיד, ניהול ומנוחה וכו')
4. אזור ציוד (כולל יישום מערכת מיזוג אוויר טיהור, חדר חשמל, מים בטוהר גבוה וחדר גז בטוהר גבוה, חדר ציוד קר וחם)
עקרון טיהור הנדסי טיהור אלקטרוני מדויק
זרימת אוויר ← טיהור אפקט ראשוני ← מיזוג אוויר ← טיהור באפקט בינוני ← אספקת אוויר מאוורר ← צינור ← צינור ניקוי יעיל גבוה ← לנשוף לחדר ← הסרת אבק וחיידקים
כגון חלקיקים → תריס אוויר חוזר → טיהור ראשוני חזור על התהליך לעיל כדי להשיג את מטרת הטיהור
פרמטרים מדויקים של טיהור הנדסי טיהור אלקטרוני
זמני אוורור: רמה 100000 ≥15 פעמים;רמה 10000 ≥20 פעמים;30 1000 או יותר.הפרש לחצים: בית המלאכה הראשי לחדרים סמוכים ≥5Pa
מהירות רוח ממוצעת: דרגה 10, דרגה 100 0.3-0.5 מטר לשנייה;טמפרטורה > 16℃ בחורף;< 26℃ בקיץ;תנודה פלוס מינוס 2 ℃.
טמפרטורה 45-65%;הלחות של סדנת אבקת GMP מתאימה בכ-50%;הלחות של בית המלאכה האלקטרוני מעט גבוהה יותר כדי למנוע יצירת חשמל סטטי.
רעש ≤65dB (A);אספקת אוויר צח היא 10%-30% מכלל אספקת האוויר;תאורה 300 לקס.
